Non-plasma $m(f)i$m(g)in situ$m(f)/i$m(g) cleaning of processing chambers using static flow methods

WO02058858 Art A1 1. August 2002

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02058858
Aktenzeichen: EP01994506
Anmeldetag: 7. November 2001
Veröffentlichung: 1. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B08B9/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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