Verfahren zum Wachsen von Kohlenstoff-Nanoröhren Oberhalb einer Elektrisch zu Kontaktierenden Unterlage sowie Bauelement

WO02059392 Art A1 1. August 2002

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02059392
Aktenzeichen: EP02703500
Anmeldetag: 22. Januar 2002
Veröffentlichung: 1. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/26C23C16/02C01B31/02H01L21/3205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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