Verfahren und Gerät zur Automatischen Erzeugung von Planungen zur Waferbearbeitung in einem Mehrkammerreaktor

WO02059704 Art A2 1. August 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02059704
Aktenzeichen: EP02717376
Anmeldetag: 28. Januar 2002
Veröffentlichung: 1. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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