Actuator and micromirror for fast beam steering and method of fabricating the same

WO02059942 Art A2 1. August 2002

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02059942
Aktenzeichen: EP02705914
Anmeldetag: 22. Januar 2002
Veröffentlichung: 1. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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