Oxidierte Filmstruktur und Verfahren zur Herstellung einer Metalloxidstruktur

WO02059945 Art A2 1. August 2002

Anmelder: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02059945
Aktenzeichen: EP02707664
Anmeldetag: 22. Januar 2002
Veröffentlichung: 1. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Battelle Memorial Institute

Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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