Herstellen Elektrischer Verbindungen in Substratöffnungen von Schaltungseinheiten mittels Gerichteter Abscheidung Leitfähiger Schichten

WO02059981 Art A2 1. August 2002

Anmelder: Universität Stuttgart 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02059981
Aktenzeichen: EP02706617
Anmeldetag: 23. Januar 2002
Veröffentlichung: 1. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/0224

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Universität Stuttgart
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Universität Stuttgart

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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