Method and device for forming film, and method of manufacturing optical element

WO02061169 Art A1 8. August 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02061169
Aktenzeichen: EP02710449
Anmeldetag: 1. Februar 2002
Veröffentlichung: 8. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54G02B5/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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