Particle beam biaxial orientation of a substrate for epitaxial criystal growth

WO02061185 Art A1 8. August 2002

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02061185
Aktenzeichen: EP01998043
Anmeldetag: 14. Dezember 2001
Veröffentlichung: 8. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C30B23/08C30B25/18C30B25/14C30B29/16C30B1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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