Diagnosing device, information collecting device, diagnosing system, and remote maintenance system

WO02061514 Art A1 8. August 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02061514
Aktenzeichen: EP02716344
Anmeldetag: 23. Januar 2002
Veröffentlichung: 8. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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