Verfahren zur Herstellung von Halbleiterstrukturen mit Clustern Und/oder Nanokristallen aus Silizium und eine Halbleiterstruktur Dieser Art

WO02061815 Art A1 8. August 2002

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02061815
Aktenzeichen: EP02710814
Anmeldetag: 28. Januar 2002
Veröffentlichung: 8. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20H01L33/00H01L21/316C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

2.166 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von