Stepper-Belichtungsdosissteuerung auf Basis von Photoresistdickenvariationen über einen Wafer
WO02063395
Art A1
15. August 2002
Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02063395
- Aktenzeichen
- EP02714775
- Anmeldetag
- 25. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 15. August 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
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