Lens-barrel, exposure device, and method of manufacturing device
WO02065183
Art A1
22. August 2002
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02065183
- Aktenzeichen
- EP02712342
- Anmeldetag
- 14. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 22. August 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B7/02H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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