Lens-barrel, exposure device, and method of manufacturing device

WO02065183 Art A1 22. August 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02065183
Aktenzeichen
EP02712342
Anmeldetag
14. Februar 2002
Veröffentlichung
22. August 2002
Rechtsraum
WO
IPC
G02B7/02H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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