Holding device, holding method, exposure device, and device manufacturing method

WO02065519 Art A1 22. August 2002

Anmelder: MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02065519
Aktenzeichen: EP02700578
Anmeldetag: 13. Februar 2002
Veröffentlichung: 22. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G03F1/14H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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