Light source device and light irradiating device and production method for device

WO02065597 Art A1 22. August 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02065597
Aktenzeichen: EP02712361
Anmeldetag: 14. Februar 2002
Veröffentlichung: 22. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10G02F1/37G02F1/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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