Apparatus for washing and drying disk-shaped workpiece, method for washing and drying disk-shaped workpiece, method for manufacturing magnetic disk substrate, and magnetic disk substrate
WO02067248
Art A1
29. August 2002
Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02067248
- Aktenzeichen
- EP02700589
- Anmeldetag
- 18. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 29. August 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G11B5/84B08B3/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Showa Denko K.K.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Showa Denko
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.
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