Apparatus for washing and drying disk-shaped workpiece, method for washing and drying disk-shaped workpiece, method for manufacturing magnetic disk substrate, and magnetic disk substrate

WO02067248 Art A1 29. August 2002

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02067248
Aktenzeichen
EP02700589
Anmeldetag
18. Februar 2002
Veröffentlichung
29. August 2002
Rechtsraum
WO
IPC
G11B5/84B08B3/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Showa Denko K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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