Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Substrats

WO02067299 Art A2 29. August 2002

Anmelder: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02067299
Aktenzeichen: EP02707840
Anmeldetag: 13. Februar 2002
Veröffentlichung: 29. August 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Charles Stark Draper Laboratory

Das Charles Stark Draper Laboratory ist eine gemeinnützige US-amerikanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, spezialisiert auf Navigations-, Sensor- und Biotechnologie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Medizintechnik, ergänzt durch Pharma- und Halbleitertechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

477 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von