Electron beam system using multiple electron beams
WO02068053
Art A1
6. September 2002
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02068053
- Aktenzeichen
- EP02704447
- Anmeldetag
- 23. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 6. September 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- A61N5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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