Electron beam system using multiple electron beams

WO02068053 Art A1 6. September 2002

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02068053
Aktenzeichen
EP02704447
Anmeldetag
23. Februar 2002
Veröffentlichung
6. September 2002
Rechtsraum
WO
IPC
A61N5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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