Recharge pipe for solid multicrystal material, and single crystal producing method using the same

WO02068732 Art A1 6. September 2002

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02068732
Aktenzeichen
EP02701594
Anmeldetag
27. Februar 2002
Veröffentlichung
6. September 2002
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/00C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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