Attenuated Embedded Phase Shift Photomask Blanks

WO02069037 Art A2 6. September 2002

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02069037
Aktenzeichen: EP02710150
Anmeldetag: 1. Februar 2002
Veröffentlichung: 6. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/00G03F1/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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