Adhesion-promoting film and process of forming patterns by using the film

WO02069046 Art A1 6. September 2002

Anmelder: Clariant International Ltd. 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02069046
Aktenzeichen: EP02700630
Anmeldetag: 20. Februar 2002
Veröffentlichung: 6. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Clariant International Ltd.
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Clariant

Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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