Verfahren zur Herstellung einer Silizium-Oktupol-Ablenkvorrichtung und Elektronenoptische Saüle, die Dieselbe Verwendet

WO02070401 Art A2 12. September 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02070401
Aktenzeichen
EP02713832
Anmeldetag
6. März 2002
Veröffentlichung
12. September 2002
Rechtsraum
WO
IPC
B81B1/00H01J37/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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