Method of fabricating reflection-mode euv diffraction elements

WO02071105 Art A2 12. September 2002

Anmelder: The Regents of The University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02071105
Aktenzeichen: EP01273924
Anmeldetag: 13. November 2001
Veröffentlichung: 12. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of The University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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