Light source device, light illuminating device and exposure device, and device producing method

WO02071143 Art A1 12. September 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02071143
Aktenzeichen: EP02701704
Anmeldetag: 4. März 2002
Veröffentlichung: 12. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/37

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von