Apparatus and method of improving impedance matching between an rf signal and a multi-segmented electrode

WO02071631 Art A2 12. September 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02071631
Aktenzeichen: EP02713682
Anmeldetag: 27. Februar 2002
Veröffentlichung: 12. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H04B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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