Dielektrische Dünne Filme aus Siliziumoxid-Zeolith mit Niedriger Dielektrizitätskonstanten

WO0207191 Art A2 24. Januar 2002

Anmelder: The Regents of the University of California, Wang, Huanting 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0207191
Aktenzeichen: EP01984276
Anmeldetag: 6. Juli 2001
Veröffentlichung: 24. Januar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The Regents of the University of California
Wang, Huanting
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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