Combined plasma/liquid cleaning of substrates

WO02072286 Art A1 19. September 2002

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02072286
Aktenzeichen: EP02750584
Anmeldetag: 7. März 2002
Veröffentlichung: 19. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/00B08B3/02B08B3/04B08B5/00B08B5/02B08B7/00B08B7/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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