Systems and methods for inspection of specimen surfaces

WO02073173 Art A2 19. September 2002

Anmelder: Kla-Tencor Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02073173
Aktenzeichen: EP02750558
Anmeldetag: 29. Januar 2002
Veröffentlichung: 19. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/95H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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