Method of fabricating nanometer-scale flowchannels and trenches with self-aligned electrodes and structures formed by the same

WO02073314 Art A1 19. September 2002

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02073314
Aktenzeichen: EP02721363
Anmeldetag: 12. März 2002
Veröffentlichung: 19. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

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Abstract

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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