Quasi-cw diode-pumped, solid-state uv laser system and method employing same

WO02073322 Art A1 19. September 2002

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02073322
Aktenzeichen: EP02725125
Anmeldetag: 12. März 2002
Veröffentlichung: 19. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G05B15/00G06F19/00B23K26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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