Method for measuring dimensions of pattern
WO02075246
Art A1
26. September 2002
Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02075246
- Aktenzeichen
- EP01912458
- Anmeldetag
- 16. März 2001
- Veröffentlichung
- 26. September 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B15/00G01B15/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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