Measuring method and device, and imaging method and device

WO02075290 Art A1 26. September 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION, Tochigi Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02075290
Aktenzeichen: EP02705134
Anmeldetag: 13. März 2002
Veröffentlichung: 26. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/41

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Tochigi Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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