Gleichzeitige Beflutung und Inspektion zur Aufladungssteuerung in einem Elektronenstrahlinspektionsgerät
WO02075772
Art A2
26. September 2002
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02075772
- Aktenzeichen
- EP02726661
- Anmeldetag
- 19. März 2002
- Veröffentlichung
- 26. September 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/02H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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