Method of producing semiconductor integrated circuit device and semiconductor integrated circuit device
WO02075812
Art A1
26. September 2002
Anmelder: Hitachi, Ltd., Hitachi ULSI Systems Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02075812
- Aktenzeichen
- EP02711359
- Anmeldetag
- 7. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 26. September 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L27/108H01L21/8242
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hitachi, Ltd.
Hitachi ULSI Systems Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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