Verfahren zur Herstellung von Adaptronischen Mikrosystemen

WO02075824 Art A2 26. September 2002

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02075824
Aktenzeichen
EP02735000
Anmeldetag
15. März 2002
Veröffentlichung
26. September 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L41/22F03G7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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