Armature unit, motor, stage device, exposure device, and method of manufacturing device

WO02075905 Art A1 26. September 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02075905
Aktenzeichen: EP02702909
Anmeldetag: 12. März 2002
Veröffentlichung: 26. September 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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