Kondensationsfalle und Methode für Kondensierbare Nebenprodukte einer Abscheidungsreaktion

WO02076581 Art A1 3. Oktober 2002

Anmelder: MKS Instruments Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02076581
Aktenzeichen: EP02717583
Anmeldetag: 8. März 2002
Veröffentlichung: 3. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/00B01D45/08B01D8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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