Method and apparatus for endpoint detection using partial least squares

WO02077589 Art A2 3. Oktober 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Yue, Honggyu 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02077589
Aktenzeichen: EP02733884
Anmeldetag: 25. März 2002
Veröffentlichung: 3. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Yue, Honggyu
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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