Vorrichtung zur Bearbeitung mittels eines Strahles Neutraler Teilchen
WO02078042
Art A2
3. Oktober 2002
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO02078042
- Aktenzeichen
- EP02705438
- Anmeldetag
- 22. März 2002
- Veröffentlichung
- 3. Oktober 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.