Semiconductor production system, cluster tool, control method of semiconductor production system and maintenance method of cluster tool

WO02078065 Art A1 3. Oktober 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02078065
Aktenzeichen: EP02705288
Anmeldetag: 18. März 2002
Veröffentlichung: 3. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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