Stage device, exposure device, and method of manufacturing device

WO02080185 Art A1 10. Oktober 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02080185
Aktenzeichen: EP02705506
Anmeldetag: 26. März 2002
Veröffentlichung: 10. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G12B5/00G01B11/00G01B9/02H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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