Opferschichten für die Strukturelle Integrität von Strukturen mit Kritischer Dimension

WO02080247 Art A1 10. Oktober 2002

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02080247
Aktenzeichen
EP02702071
Anmeldetag
25. Januar 2002
Veröffentlichung
10. Oktober 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/306B08B3/12H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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