Lateral Nanostructures By Vertical Processing

WO02080262 Art A1 10. Oktober 2002

Anmelder: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02080262
Aktenzeichen: EP02728607
Anmeldetag: 29. März 2002
Veröffentlichung: 10. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/4763

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Penn State Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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