A method and apparatus of two wavelength interferometry for measuring accurate height of small step composed of two different materials

WO02082008 Art A1 17. Oktober 2002

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology, Kim, Seung-Woo, Park, Min-Cheol 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02082008
Aktenzeichen: EP02714609
Anmeldetag: 8. April 2002
Veröffentlichung: 17. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Korea Advanced Institute of Science and Technology
Kim, Seung-Woo
Park, Min-Cheol
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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