Terahertz optical device and adjustment method therefor

WO02082060 Art A1 17. Oktober 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION, Tochigi Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02082060
Aktenzeichen: EP02714433
Anmeldetag: 3. April 2002
Veröffentlichung: 17. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/35G01J3/02G01J1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Tochigi Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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