Wafer carrying robot teaching method and teaching plate

WO02083372 Art A1 24. Oktober 2002

Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02083372
Aktenzeichen
EP02717120
Anmeldetag
11. April 2002
Veröffentlichung
24. Oktober 2002
Rechtsraum
WO
IPC
B25J9/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

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