Apparatus and method for epitaxial sputter deposition of epilayers and high quality films

WO02083975 Art A1 24. Oktober 2002

Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY, E.I.Du Pont de Nemours and Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02083975
Aktenzeichen: EP02726742
Anmeldetag: 11. April 2002
Veröffentlichung: 24. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: E. I. du Pont de Nemours and Company
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
E.I.Du Pont de Nemours and Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 DuPont

US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von