Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der an einem in einem Plasmaerzeuger Verwendeten Elektrostatischen Schirm Angelegten Spannung

WO02084699 Art A1 24. Oktober 2002

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02084699
Aktenzeichen: EP02719426
Anmeldetag: 2. April 2002
Veröffentlichung: 24. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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