Pumpenanschlussstück für Prozesskammer für Einzelne Halbleiterscheiben Frei von Emissivitätsänderungen

WO0208489 Art A2 31. Januar 2002

Anmelder: Applied Materials 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0208489
Aktenzeichen: EP01958971
Anmeldetag: 17. Juli 2001
Veröffentlichung: 31. Januar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: Applied Materials
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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