Mirror device, optical switch, thin film elastic structure, and thin film elastic structure producing method

WO02086586 Art A1 31. Oktober 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02086586
Aktenzeichen: EP02718610
Anmeldetag: 18. April 2002
Veröffentlichung: 31. Oktober 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08B81B3/00B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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