Method for producing extreme ultraviolet lithography substrates

WO02088035 Art A1 7. November 2002

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02088035
Aktenzeichen: EP02733888
Anmeldetag: 25. März 2002
Veröffentlichung: 7. November 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C03B8/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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